進口微波去膠機*款適用于遠程控制的設備

更新時間：2015-10-28

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　　進口微波去膠機是石英腔的微波等離子系統，可以安裝到超凈間墻上。該系列的微波等離子系統可以用于批處理，也可以作為單片處理，系統為計算機全自動控制的系統。典型工藝包含：大劑量離子注入后的光刻膠去除；干法刻蝕工藝的前處理或后處理；MEMS制造中的犧牲層去除。
　　
進口微波去膠機系統控制：
　　PC, Windows, RS 232, USB, Ethernet (也適用于遠程控制)
　　10.4”觸摸屏、圖形用戶界面
　　Windows Office兼容
　　存儲處理數據和錯誤信息，處理數據輸出
　　工藝參數圖形曲線的監測
　　自動或手動操作
　　
進口微波去膠機工藝參數：
　　材質：石英玻璃
　　容積：21公升
　　腔體尺寸：直徑240mm，深度460mm
　　腔體后部：鋁
　　腔門：鋁質材料制作，抽拉式支撐架跟前門相連，便于手動放片；
　　氣體分布：前門擴散
　　觀察視窗：防紫外及微波
　　支撐架：鋁質材料，
　　真空連接：DN40 ISO-KF
　　壓力控制：Pirani，1-100Pa
　　真空泵：推薦35m3/h
　　真空閥：電子氣動閥，DN40 ISO-KF
　　真空密封：硅樹脂
　　氣體供應：1路數字顯示的質量流量器控制
　　氣體通道：3路數字MFC，裝有電磁閥，1000/500/200sccm（N2校準），1/4" Swagelok接頭
　　卸壓：電磁閥，1/4" Swagelok接頭
　　功率：2.45GHz，50-1200W連續可調
　　耦合：微波天線，鋁質諧振器，腔體內無電極
　　
進口微波去膠機選配：
　　真空泵：雙級真空泵，如，抽吸能力大40m3/h
　　氣路：額外的數字顯示質量流量控制器
　　旋轉臺：鋁，直徑200mm,速度可調
　　ECR(電子回旋共振)：鋁、支架配置永磁體

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