ALD系統應用范圍再次升級

隨著NANO-MASTER*技術的ICP源的深入應用，對于大面積的基片提供均勻高品質的薄膜生長得以實現。到目前為止，NANO-MASTER的ALD系統可以支持在任意尺寸的襯底上的擴展，這給顯示和照明等領域帶來好消息。

此外，NANO-MASTER同時具備粉末處理能力的擴展。這樣，NANO-MASTER系統已經可以支持在任意尺寸和任意形狀的固體上進行原子級生長。在應用選擇方面，我們支持熱ALD和PEALD系統的單獨應用，同時也支持ALE/ALD雙系統、IBE/ALD雙系統、ALD/PECVD雙系統、ALD/IBAD雙系統等應用，以及ALD跟其它NANO-MASTER任意系統組成的Cluster系統，可以實現多工序工藝在不間斷真空的情況下一步完成工藝。